PRODUCTS / 半導體/玻璃 / Femtika

    TGV

    Femtika 利用兩種不同的雷射光束與不同的蝕刻技術來加工TGV(通孔玻璃):
    1. Bessel 光束 + HF 蝕刻:雷射生成小而精確的1-2um孔洞,後續使用HF蝕刻液拓孔至目標孔徑。
    2. Gaussian 光束 + KOH 蝕刻:雷射改質近孔徑大小,改質玻璃後再進行選擇性蝕刻,以達到目標尺寸需求。

    Femtika 整合兩種雷射光束在同一機台上,提供客戶多樣性的加工選擇與功能。
    • Introduction
    • Specification
    • Download
    樣品照片