miDALIX DaLI
- Introduction
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DALI技術規格 |
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基本資訊 |
基板尺寸 |
從次毫米到100 x 100 x 10mm |
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光學特性 |
雷射波長 |
375 or 405nm |
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雷射光束尺寸 |
1 and 3μm(軟體可選) |
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直寫速度(每秒光點數) |
100,000Hz |
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結構長寬比 |
大於1:20(最多到1:40) |
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性能 |
雷射直寫解析度 |
真次奈米 |
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最小尺寸 |
<1 |
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多層對準精度 |
0.5um |
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使用者介面 |
數據輸入格式 |
DXF, BMP |
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CAD軟體 |
用於設計，對準，進階固定和曝光控制 |
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集成光學單色或彩色顯微鏡 |
用於檢查和對準 |
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技術資訊 |
運轉溫度 |
21.5 ±1.5ﾟC |
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設備尺寸 |
650 x 626 x 522 (W x D x H) |
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電力需求 |
110/230 VACA, 50/60Hz |
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運轉濕度 |
<80%, non-condensing |
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設備重量 |
77kg |
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消耗電力 |
<120 VA |
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