以 EMST 重新思考壓力感測器的製造方式
壓力感測器的應用範圍極為廣泛:從汽車產業中的氣壓懸吊系統、鐵路技術中的壓縮空氣系統,到醫療科技中高精度的幫浦系統,皆不可或缺。儘管這些應用領域各不相同,但它們都有一個共通點:壓力感測器屬於微系統(microsystems),也就是一種微機械(或微光學)元件,將微電子元件整合於一個複雜的系統之中。
在系統或機械中,壓力感測器用於測量液體或氣體的壓力。它們將壓力施加在特定表面(通常為感測膜)所產生的機械力轉換為電訊號。當壓力作用於感測膜時,膜會發生變形;這種形變可被精準測量,進而計算出實際施加的壓力值。
因此,壓力感測器在監控與控制各種流程與系統中,扮演著極為關鍵的角色。









