EMST PEEK 微系統與感測器應用 - 流量感測器
我們透過新開發的 Ensinger Microsystems Technology (EMST)，正在徹底改變流量感測器的製造方式。EMST 可用於製作基於 PEEK 的感測元件，提供傳統基板的有力替代方案，並大幅提升感測器的多功能性。
- Introduction
流量感測器通常使用傳統基板製作，如陶瓷或矽，特別是在需要光蝕刻製程的應用中。對於軟性感測器，例如溫度感測器或熱式流量感測器，有時會採用聚合物基板，以提升熱容量、導熱性與電氣絕緣等特性。然而，迄今使用的聚合物方案在化學與耐熱性方面存在不足，通常無法承受傳統應用中的高強度光蝕刻製程。
透過使用自製的高性能塑料 TECACOMP PEEK LDS，我們率先將其優異的化學與耐熱特性與新開發的製造技術結合。基於 PEEK 的晶圓 TECAWAFER PEEK LDS 可在非潔淨室環境下製作高性能、多功能的熱式流量感測器——即使是小批量生產，也具備高效率、彈性與客製化能力。
一般而言，PEEK 的熱導率低於陶瓷或矽基板，有助於提升感測器的靈敏度。TECAWAFER PEEK LDS 具有額外優勢：基板可功能化，客製化。除了傳統金、鎳、銅塗層之外，各種塗層選項拓展了功能化可能性，為流量感測器製造商創造全新的解決方案。在整合性方面，基於 PEEK 的方案提供靈活的模塑選項，可將客製化流量感測器無縫整合到特定應用需求中。我們的技術允許微系統的前所未有客製化——可量身打造獨特功能、形狀及數量，即使是低量產也能滿足需求。
